2月7日，上海微电子举行首台2.5D/3D先进封装光刻机发运仪式，这标志着中国首台2.5D/3D先进封装光刻机正式交付客户。
去年9月18日，上海微电子举行了新产物公布会，宣布推出新一代大视场高分辨率先进封装光刻机。上海微电子曾示意，那时已与多家客户杀青新一代先进封装光刻机销售协议，首台将于年内交付。
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据悉，那时推出的新品光刻机主要应用于高密度异构集成领域，具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场等特点，可辅助晶圆级先进封装企业实现多芯片高密度互连封装手艺的应用，知足异构集成超大芯片封装尺寸的应用需求，同时将助力封装测试厂商提升工艺水平、开拓新的工艺，在封装测试领域配合为中国集成电路产业的生长做出更多的孝顺。
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